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     超声波改性尼龙抛光机抛光的过程其实是一个由电能转换成机械能的过程，主要由超声波主机控器将超声波电信号经功率放大器处理后输出到超声波换能器工作手柄上，超声波换能器工作手柄再将超声波电信号转换成一个20KHZ以上的高能高速机械振动，最后经变手柄前端的变幅 杆传递到工具头的未端，并带动工具头上的抛光材料悬浮液以第秒20000次以上的速度高速冲击被抛光工件的表面，从而快速达到镜面效果。

     超声波改性尼龙66抛光机的抛光方式：

     1）非缝合式整布机。多用细软棉布制成，宜抛光形状复杂工件，或用于小型工件的精抛光。

     2）风冷布机。采用45度角线裁法，呈环形皱褶状，中间装有金属圆盘，具有通风散热的特点，宜抛光大型工件。

     3）缝合式。多用粗布、无纺布及细平布等制成，缝线可采用同心圆式螺旋式及直辐射形式，宜抛光各种镀层及形状较简单的工作。

     4）毛毡机。采用纯羊毛制作而成，缩绒时间长组织紧密、孔隙小，不像织物那样受经纬的限制，耐磨性能好。

 

     超声波改性尼龙66抛光机的抛光流程：

     1.固定：将单晶硅棒固定在加工台上。

     2.切片：将单晶硅棒切成具有精确几何尺寸的薄改性尼龙66切片。此过程中产生的硅粉采用水淋，产生废水和硅渣。

     3.退火：双工位热氧化炉经氮气吹扫后，用红外加热至300~500℃，改性尼龙66切片表面和氧气发生反应，使改性尼龙66切片表面形成二氧化硅保护层。

     4.倒角：将退火的改性尼龙66切片进行修整成圆弧形，防止改性尼龙66切片边缘破裂及晶格缺陷产生，增加磊晶层及光阻层的平坦度。此过程中产生的硅粉采用水淋，产生废水和硅渣。

     5.分档检测：为保证改性尼龙66切片的规格和质量，对其进行检测。此处会产生废品。

     6.抛光：用磨片剂除去切片和机磨所造的锯痕及表面损伤层，有效改善单晶改性尼龙66切片的曲度、平坦度与平行度，达到一个抛光过程可以处理的规格。此过程产生废磨片剂。

     7.清洗：通过有机溶剂的溶解作用，结合超声波清洗技术去除改性尼龙66切片表面的有机杂质。此工序产生有机废气和废有机溶剂。

     8.RCA清洗：通过多道清洗去除改性尼龙66切片表面的颗粒物质和金属离子。

     9.磨片检测：检测经过抛光、RCA清洗后的改性尼龙66切片的质量，不符合要求的则从新进行抛光和RCA清洗。

    10.腐蚀A/B：经切片及抛光等机械加工后，晶片表面受加工应力而形成的损伤层，通常采用化学腐蚀去除。蚀A是酸性腐蚀，用混酸溶液去除损伤层，产生氟化氢、NOX和废混酸；腐蚀B是碱性腐蚀，用氢氧化钠溶液去除损伤层，产生废碱液。本项目一部分改性尼龙66切片采用腐蚀A，一部分采用腐蚀B。

     11.分档监测：对改性尼龙66切片进行损伤检测，存在损伤的改性尼龙66切片重新进行腐蚀。

     12.粗抛光：使用一次抛光剂去除损伤层，一般去除量在10~20um。此处产生粗抛废液。

     13.精抛光：使用精磨剂改善改性尼龙66切片表面的微粗糙程度，一般去除量1um以下，从而的到高平坦度改性尼龙66切片。产生精抛废液。

     14.检测：检查改性尼龙66切片是否符合要求，如不符合则从新进行抛光或RCA清洗。

     15.检测：查看改性尼龙66切片表面是否清洁，表面如不清洁则从新刷洗，直至清洁。

     16.包装：将单晶硅抛光片进行包装。